LCP-25 Deneysel Elipsometre
Giriş
Manuel eliptik polarimetre, filmin kalınlığını ve kırılma indisini ölçmek için söndürme yöntemini kullanır ve test sürecinin sapma ve sapma açısını manuel olarak düzenler. Elipsometri, katı substrat üzerindeki dielektrik ince filmin ölçümünde yaygın olarak kullanılmaktadır. Film kalınlığını ölçme yönteminde en ince ve en yüksek hassasiyetle ölçülebilir.
Teknik Özellikler
| Açıklama | Teknik Özellikler |
| Kalınlık Ölçüm Aralığı | 1 nm ~ 300 nm |
| Olay Açısı Aralığı | 30º ~ 90º, Hata ≤ 0.1º |
| Polarizer ve Analizör Kavşak Açısı | 0º ~ 180º |
| Disk Açısal Ölçeği | Ölçek başına 2º |
| Min. Vernier okuması | 0.05º |
| Optik Merkez Yüksekliği | 152 mm |
| Çalışma Aşaması Çapı | Φ 50 mm |
| Genel boyutları | 730x230x290 mm |
| Ağırlık | Yaklaşık 20 kg |
Parça listesi
| Açıklama | Miktar |
| Elipsometre Birimi | 1 |
| He-Ne Lazer | 1 |
| Fotoelektrik Amplifikatör | 1 |
| Fotoğraf Hücresi | 1 |
| Silikon Yüzey Üzerinde Silika Film | 1 |
| Analiz Yazılım CD'si | 1 |
| Kullanım klavuzu | 1 |
Mesajınızı buraya yazın ve bize gönderin
